製品情報 > 微粒子成膜装置 概要・特徴

ナノ材料を応用して製品を作る、あるいは研究のためSEM/TEM等で観察する場合、基板等の表面に均一にナノ材料を固定する必要があります。しかし、ナノ材料分散液を塗布・乾燥する過程で凝集してしまうという問題がありました。

微粒子成膜技術は、静電スプレーの原理を応用し、このような問題を解決しました。 

原理 
１．ノズル内のナノ材料分散液と基板の間に電圧をかけると、クーロン力によりノズル先端の液体表面が円錐状に変形し、その先端から液体の表面張力にうちかって微細な液柱（ジェット流）が射出されます。 
２．ジェット流表面で、同極電荷同士の斥力が働くため、微液滴に分裂します。 
３．微液滴は蒸発し、帯電したナノ材料が空間を進んでいくようになります。 
４．ナノ材料は、先に基板に到達した帯電ナノ粒子を避けるように、基板に吸着します。そのため、ナノ材料は基板上で凝集することなく、均一に固定されます。

5nsで撮影
液滴の直径：1〜2μｍ
溶媒：水

ノズルから噴霧されたジェット流が、電荷を持った液滴となり、互いに反発しながらスプレー状に拡がっています。

良好なスプレーを実現するには、誘電率の高いサンプル液が好ましいです。サンプル液の誘電率は、分散媒や含有ナノ材料の誘電率、およびその比率によって決まります。