微粒性成膜技術の概要
凝集のないナノ材料の基板固定を可能にする技術・装置
●微粒子成膜装置
●SEM/TEM用サンプルプレパレーション装置
凝集の無い微粒子成膜（塗布）が可能！
静電スプレーを利用した微粒子の成膜装置
静電スプレーの原理に基づき、ナノ粒子分散液を微液滴化して基板へ静電付着させることにより、凝集の無いナノ粒子の成膜（塗布）を実現しました。電動ステージで基板への付着場所を制御し、局所もしくは全面への成膜が可能です。マスクを用いることによりパターニングも可能で、ナノ粒子のみならず液体材料の成膜にも利用することができます。
「微粒子成膜装置」の概要・特徴
凝集のないナノ材料の基板固定が可能
SEM・TEMの観察用基盤を簡便に作製
従来の観察基板に分散液を塗布・乾燥する方法では、ナノ材料が凝集体となってしまうため、個々の状態を把握することは困難でした。『SEM・TEMサンプルプレパレーション装置』は、静電スプレーの原理を応用してナノ材料を基板上に固定し、走査型電子顕微鏡（SEM）や透過型電子顕微鏡（TEM）による観察を容易にします。
「SEM・TEM用サンプルプレパレーション装置」の概要・特徴
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微粒子成膜装置
