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정전식 분주 분석 장치
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개요·특징

미량의 분주·패터닝 장치

정전식 분주 분석 장치

작은 액체 방울(pL〜fL)의 접촉각, 기판에 액체의 닿음 및 퍼짐(넓이)의 평가 및 액체 방울의 직경을 변경한 경우 데이타 수집

ODS-A01

정전식 분주 분석 장치의 기본 구성(CLICK : Zoom In/Out)액체 재료의 미량 분주에 의한 패터닝은 자원 절약의 제조 기술로서 큰 기대를 모으고 있습니다. 패턴 설계를 행할 때 도트나 라인의 크기는 기판 위에 형성된 작은 액체 방울의 저면 직경으로 결정됩니다. 그 때문에 기판과 재료와의 조합으로 결정되는 작은 액체 방울의 접촉각 및 액체가 기판에 닿아 넓혀지는 폭은 지극히 중요한 물성이 됩니다.

정전식 분주 분석 장치 ODS-A시리즈』
정전식의 미량 분주와 고속 카메라로 촬영한 것을 조합하여 단시간에 변화해 가는 작은 액체 방울의 화상으로부터 접촉각이나 기판 위에 형성된 액체 방울의 최대 직경(또는 넓이)을 측정할 수 있습니다.


또 기판을 이동하면서 다수의 액체 방울을 형성하는 혹은 액체 방울의 체적을 변경하는 등의 동작을 자동적으로 실행하고 액체 방울의 물성[접촉각, 액체 방울의 최대 직경(또는 넓이)]의 통계적 평가를 실행합니다.

본 장치에는 제어 시스템(고전압전원, 신호제어유니트), 컴퓨터 및 해석용 소프트웨어가 포함됩니다.



작은 액체방울 패터닝의 기초 데이터

작은 액체방울 패터닝의 기초 데이터(CLICK : Zoom In/Out)(1)고속 카메라를 이용하여 분주 후의 작은 액체 방울의 움직임을 화상으로 기록하고 있기 때문에 단시간에 변화해 가는 작은 액체 방울의 접촉각이나 기판에 닿아 넓혀지는 폭을 측정할 수 있습니다.

본 장치는 미량 분주 기구와 화상계측 기구가 연동하고 있기 때문에 사전에 측정 조건을 프로그래밍하면 다수의 작은 액체 방울을 대상으로 한 물성의 평균치나 변동 값, 또는 체적을 바꾸었을 경우의 물성 변동치도 효율적으로 산출할 수 있습니다.



고 점성의 작은 액체 방울의 평가

고 점성의 작은 액체 방울의 평가(CLICK : Zoom In/Out)(2)정전식의 미량 분주 기술을 채용하고 있기 때문에 고 점성의 액체 재료에 대하여도 pL∼fL 지령의 작은 액체 방울을 형성·평가할 수 있습니다.

응용 예

(1) 액체 방울 움직임의 고속 관찰

액체 방울 움직임의 고속 관찰(CLICK : Zoom In/Out)응용예(1)
단시간에 변화하는 작은 액체 방울의 움직임을 고속 카메라에 의하여 관찰


고속 카메라를 이용하여 분주 후의 작은 액체 방울의 움직임을 화상으로 기록하고 있기 때문에 단시간에 변화해 가는 작은 액체 방울의 접촉각이나 기판에 닿아 넓혀지는 폭을 측정할 수 있습니다.



(2) 분주 체적의 제어

요구하는 분주 체적의 제어(CLICK : Zoom In/Out)응용예(2)
간단한 액체 방울 체적의 제어



본 기술로는 전압을 거는 시간(펄스폭)으로 액체 방울의 체적을 제어합니다. 그렇기 때문에 패터닝 라인 상에서의 액체 방울 체적의 변경이 용이합니다.





(3) 액체 물성의 해석·통계 처리

액체 물성의 해석·통계 처리(CLICK : Zoom In/Out)응용예(3)
액체 방울의 직경을 변경할 경우 자동적으로 데이타 수집과 해석·통계 처리


본 장치는 미량 분주 기구와 화상 계측 기구가 연동하고 있기 때문에 사전에 측정 조건을 프로그래밍하면 다수의 작은 액체 방울을 대상으로 한 물성의 평균값이나 변동값 또는 체적을 바꾸었을 경우의 물성 변동도 효율적으로 산출할 수 있습니다.

특징

특징(1)
작은 액체 방울(fL〜pL)의 접촉각 및 기판에 닿아 퍼지는 현상을 평가
단시간으로 변화하는 작은 액체 방울의 움직임을 고속 카메라로 관찰
고속 카메라를 이용하여 분주 후의 작은 액체 방울의 움직임을 화상으로 기록하고 있기 때문에 단시간에 변화하여 가는 작은 액체 방울의 접촉각이나 기판에 닿아 퍼지는 직경(또는 넓이)를 측정할 수 있습니다.
특징(2)
액체 방울의 직경을 변경한 경우 자동적으로 데이타 수집과 해석·통계 처리
본 장치는 미량 분주 기구와 화상 계측 기구가 연동하고 있기 때문에 사전에 측정 조건을 프로그래밍하면 다수의 작은 액체 방울을 대상으로 한 물성의 평균치나 변동 값 또는 체적을 바꾸었을 경우의 물성의 변동값도 효율적으로 산출할 수 있습니다.